電子廠廢氣治理按照其處理工藝可分為：酸性廢氣處理、堿性廢氣處理、有機廢氣處理和一般排氣等；其廢氣處理系統包括：酸性廢氣處理設備、堿性廢氣處理設備、有機廢氣處理設備等；酸、堿廢氣處理設備有，洗滌塔（又名噴淋塔、吸收塔）；有機廢氣處理設備有：活性炭吸附裝置，直燃式熱氧化廢氣焚燒爐等。
電子廠廢氣治理的方法簡介：
(1)活性炭濃縮
即采用活性炭吸附裝置來對廢氣進行濃縮，由于電子廠廢氣具有風量大,濃度低的特點,而催化燃燒系統在啟動運行時,對能源的消耗較大,如果預處理后的氣體先通過活性炭吸附到達一定濃度后,再進入催化燃燒系統,相對于直接進入催化炭燒系統,將可以大大的節省能源的消耗。
活性炭吸附器又可稱為活性炭吸附器、活性炭吸時過濾器、活性炭吸附箱。是一種廢氣過濾吸的異味的環保設備產品,活性炭吸附塔體可用不銹鋼、碳鋼、PP板等材質制作?；钚蕴课剿哂形叫矢?、適用面廣、維護方便、能同時處理多種混合廢氣等優點,活性炭具有去除甲醛、苯、TVOC等有害氣體和消毒除臭等作用。
有機廢氣氣體由風機提供動力,正壓或負壓進入活性炭塔體,由于活性炭固體表面上存在著未平衡和未飽和的分子引大力或化學健力。因此當此固體表面與氣體接時,就前能吸引氣體分子使其濃聚并保持在固體表面,污染物質從而被吸附,活性炭吸附到一定時間后,即可進入脫附流程,脫附后的氣體即是濃縮后的vocs氣體。
（2）催化燃燒系統(RCO)
催化燃燒是典型的氣固相催化反應,它借助催化劑降低了反應的活化能,使其在較低的起燃溫度200-300下進行無焰燃燒,有機物質氧化發生在固體催化劑表面,同時產生C02和H20,并放出大量的熱量,因其氧化反應溫度低,所以大大地抑制了空氣中的N2形成高溫NOx.而且由于催化劑有選擇性催化作用,有可能限制然料中含氮化合物(RNH)的氧化過程,使其多數形成分子氨(N2)。
蓄熱式催化燃燒,相對于普通的催化燃燒設備,增加了熱量循環裝置,設備啟動一定時間后,可大大降低對電量的消耗,為工廠省下大量的電費。
